Vakuumbeschichtung: Verfahren und Anlagen
by Gerard Kienel
207 MAD230 MAD
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Book Details
- ISBN
- 9783642633980
- Publisher
- Springer Berlin Heidelberg
- Published Year
- 2025
- Pages
- 481
- Language
- German
- Category
- Science & Technology
Description
Schwerpunkte in Band 2 bilden das Aufdampfen im Hochvakuum, das Ionenplattieren, die Kathodenzerstäubung, teilchengestützte Verfahren, die Erzeugung von Mikrostrukturen, Plasmabehandlungsverfahren und die Abscheidung aus der Gasphase (CVD).
